Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Краснов В. А., Прохорович А. В., Шутов С. В., Деменский А. Н.
Анализ флуктуаций размера растущего кристалла (на примере легированных монокристаллов кремния. вытягиваемых из расплава по методу Чохральского)

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Українська  Обсяг:  с. 148-156 
УДК:  548.4 

Аннотацiя:

В данной работе проведен анализ флуктуаций диаметра слитков в процессе вытягивания на примере технологического процесса вытягивания из расплава слитков монокристаллического кремния методом Чохральского. Предложен феноменологический подход, который позволил установить на колличественном уровне связь диаметра кристалла с основными технологическими параметрами процесса вытягивания и физико-химическими характеристиками материала. Результаты работы могут быть использованы при разработке АСУТП вытягивания слитков монокремния из расплава.

Є складовою частиною документа Автоматика. Автоматизация. Электротехнические комплексы и системы [Текст] : науч.-техн. журн. № 1 / учредитель : Херсон. гос. техн. ун-т, М-во образован. и науки Украины, НАНУ и др. — Херсон : Ред. журн. ААЭКС, 2010.