Аннотацiя: |
Проведен модельный анализ влияния начального состава смеси НСI/Ar на стационарные параметры плазмы (приведенная напряженность электрического поля, энергетическое распределение электронов, константы скоростей процессов под действием электронного удара) иконцентрации заряженных частиц в условиях тлеющего разряда постояного тока. |