| Аннотацiя: |
У дисертації наведено вирішення фундаментальної проблеми сучасної гальванотехніки функціональних матеріалів шляхом керованого синтезу металевих покриттів із заздалегідь заданими властивостями на прикладі срібла й золота для мікроелектроніки.
Виявлений діапазон стійкого процесу функціонального осадження (мінімальної динамічної нестабільності системи), де реалізується найбільш сприятлива енергетика переважного зростання граней кристалів при мінімальній роботі утворення поверхні, що дозволяє в будь-якомуелектроліті отримувати осади електролітичного золота і срібла, фізико-хімічні властивості яких стабільні. Знайдена нова закономірність електрохімічної кінетики розряд різних координаційних іонів арґентуму(І) та ауруму(І) відбувається за загальним механізмом. Як кореляційний параметр для прогнозування функціональних властивостей покриттів срібла і золота запропонований взаємоузгоджений параметр,що являє собою електрохімічний опір системи, природу комплексного іона і умови утворення ЕАК.
Знайдені нові технічні рішення: розроблені альтернативні шляхи заміни контактного золота сплавами на основі тугоплавких металів з металами підгрупи заліза; новий селективний метод електрохімічної регенерації срібла; оптимізовані електроліти (обгрунтований склад електроліту, природа ЕАК, діапазон стійкого електроосадження, режим електролізу), вирішені проблеми контактного обміну, пасивації анодів, збільшення терміну служби буферних електролітів; які впроваджені в технологіях нанесення контактного провідного шару золота, срібла і сплавів вольфраму і молібдену, на металеві поверхні, напівпровідники і кераміку, в конкурентоздатних виробах мікро- і наноелектроніки, з істотним зниженням (до 15%) відбракованої продукції.
|
