Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Бормашов В. С., Волков А. П., Голованов А. В., Тарелкин С. А., Буга С. Г., Бланк В. Д.
Реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристалла алмаза в плазме

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Російська  Обсяг:  С. 71-73 
УДК:  533.924 

Аннотацiя:

Исследовано влияние реактивного ионного травления в плазме Ar/O2 на синтетический НРНТ монокристалл алмаза. Показано, что плазменная обработка может привести к сглаживанию поверхности алмаза. Было достигнуто уменьшение среднеквадратичной шероховатости с 4,6 до 3,7 нм на базе 10 мкм х 10 мкм. Топография и профили поверхности исследовались с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ) на различных пространственных масштабах.

Є складовою частиною документа Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология [Текст]. Т. 55. № 6 / М-во общ. и проф. образования РФ. — Иваново : Иван. хим.-технол. ин-та, 2012.

Теми документа

• УДК/5 Математика та природничi науки/53 Фiзика/533 Механiка газiв. Аеромеханiка. Фiзика плазми