| Аннотацiя: |
Эта статья посвящена полупроводниковым датчикам качества воздуха внутри помещений (далее КВВП) TGS8100. созданным по инновационной MЭМS технологии ( технологии Микро-Электро-Механических- Систем, далее МЭМС), а также раскрывает некоторые особенности их внутренней структуры и применений. |
