Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Сторижко В. Е., Мирошниченко В. И., Пономарев А. Г.
Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии : современное состояние и переспективы развития

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Російська  Обсяг:  С. 17-22 

Є складовою частиною документа Наука та інновації [Текст] = Science and Innovation : наук.-практ. журн. Т. 8. № 2 / засн. : НАН України ; вид. : Вид. дім. "Академперіодика". — К. : Академперіодика, 2012.