Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Баранов И. Л., Табулина Л. В., Русальская Т. Г.
Объемное электрохимическое травление полупроводникового монокристалического кремния в растворах с HF

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Російська  Обсяг:  С. 1609-1614 
УДК:  546.28:541.30 

Є складовою частиною документа Журнал прикладной химии [Текст]. Т. 85. № 10 / учредитель : РАН. — СПб. : Наука, 2012.

Теми документа

• УДК/5 Математика та природничi науки/54 Хiмiя. Кристалографiя. Мiнералогiя/546 Неорганiчна хiмiя