Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Баринов И. Н., Волков В. С.
Чувствительные элементы на основе поликристаллического кремния для высокотемпературных датчиков абсолютного давления

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Російська  Обсяг:  С. 36-42 

Є складовою частиною документа Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика [Текст] : ежемес. науч.-техн. и произв. журн. № 11. — М. : Научтехмаш, 2012.