Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Никонов А. Ю.
Исследование нарушений структуры поверхностных слоев кремния при импульсном легировании

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Російська  Обсяг:  С. 38-42 
УДК:  543.222.2 

Є складовою частиною документа Нові технології [Текст] = New technologies : наук. вісн. Кременчуц. ун-ту екон., інформ. технол. і упр. № 2-3(36-37). — Кременчук : КУЕІТУ, 2012.

Теми документа

• УДК/5 Математика та природничi науки/54 Хiмiя. Кристалографiя. Мiнералогiя/543 Аналiтична хiмiя/543.2 Хімічні методи аналізу