Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Бормашов В. С., Голованов А. В., Волков А. П., Тарелкин С. А., Буга С. Г., Бланк В. Д.
Формирование рельефных структур на поверхности монокристаллов синтетического алмаза методом реактивного ионного травления

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Російська  Обсяг:  С. 57-59 
УДК:  544.558+533.924 

Аннотацiя:

Методом лазерной литографии и реактивного ионного травления на поверхности монокристаллов синтетического алмаза получены рельефные структуры высотой до 2 мкм. Определены скорости и селективности травления к алюминию и хрому в плазмах различного газового состава. Наибольшая скорость реактивного ионного травления (70 нм/мин) достигнута при использовании плазмы на основе гексафторида серы, при этом наибольшая селективность травления (14) наблюдалась к хрому.

Є складовою частиною документа Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология [Текст]. Т. 56. № 7 / М-во общ. и проф. образования РФ. — Иваново : Иван. хим.-технол. ин-та, 2013.

Теми документа

• УДК/5 Математика та природничi науки/53 Фiзика/533 Механiка газiв. Аеромеханiка. Фiзика плазми/533.9 Фізика плазми
• УДК/5 Математика та природничi науки/54 Хiмiя. Кристалографiя. Мiнералогiя/544 Фізична хімія/544.5 Хімія високоенергетичних процесів/544.55 Плазмохімія