| Аннотацiя: |
Приводится анализ данных литературы и представлены значения вероятности гетерогенной рекомбинации атомов кислорода, азота и водорода на поверхностях разной природы, которые могут быть полезны при численном моделировании процессов в условиях неравновесной плазмы пониженного давления. Холодков Игорь Владимирович - к.ф.-м.н., доцент кафедры технологии приборов и материалов электронной техники ИГХТУ. |
