Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Шифр:  621.38  Авторський знак:  Б43 
Белов И.А., Шеленшкевич В.А., Шуб Л.И.
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Вид документа:  Монографія 
Рік видання:  1991  Місце видання:  Л.  Видавництво:  Политехника 
Мова:  Російська  Обсяг:  287 с. 
УДК:  621.382.2/.3.002:532  ISBN:  5-7325-0001-4 

Примірники
Місце збереження	Кількість	В наявностi
Філія 1	1	1
Читальний зал для студентів	1	1

Теми документа

• УДК/6 Прикладнi науки. Медицина. Техніка/62 Машинобудування. Технiка в цiлому/621 Загальне машинобудування. Ядерна технiка. Електротехнiка. Машинобудування в цілому/621.3 Електрика. Електротехнiка/621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок

Статистика використання: Видач: 0