Електронний каталог

  Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа  

Бормашов В. С., Голованов А. В., Волков А. П., Тарелкин С. А., Буга С. Г., Бланк В. Д.
Глубокое реактивное ионное травление синтетического алмаза

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Російська  Обсяг:  С. 4-7 
УДК:  544.558+533.924 
Аннотацiя: Разработано и исследовано глубокое реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристаллического алмаза в двухступенчатом процессе травления в плазме на основе SF 6 и покрытия защитной пленкой в плазме на основе СF 4. Для контроля рельефа поверхности алмазных образцов до и после обработки плазмой использована методика, основанная на анализе частотной зависимости спектральной плотности мощности экспериментальных изображений, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии на различных пространственных масштабах.

Є складовою частиною документа Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология [Текст]. Т. 57. № 5 / М-во общ. и проф. образования РФ. — Иваново : Иван. хим.-технол. ин-та, 2014.

Теми документа

Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'