Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Сорокин Б. П., Квашнин Г. М., Бормашов В. С., Волков А. П., Теличко А. В., Гордеев Г. И., Голованов А. В.
Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки ALN, нанесенной на подложку из синтетического монокристалла алмаза

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Російська  Обсяг:  С. 17-21 
УДК:  621.382 

Аннотацiя:

Разработана технология магнетронного напыления пьезоэлектрических пленок из нитрида алюминия и металлических электродов на подложки из синтетического монокристалла алмаза. Для создания электродных структур с заданной топологией применялись методы фотолитографии. Структура пленок изучалась методами рентгеновской дифракции, атомно-силовой и растровой электронной микроскопии.

Є складовою частиною документа Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология [Текст] : істор. наук.-попул. та лiт. журн. / засн. : НАН України, Центр пам'яткознавства, Укр. т-во охорони пам'яток iсторiї та культури. — Иваново : Иван. хим.-технол. ин-та, 2014.

Теми документа

• УДК/6 Прикладнi науки. Медицина. Техніка/62 Машинобудування. Технiка в цiлому/621 Загальне машинобудування. Ядерна технiка. Електротехнiка. Машинобудування в цілому/621.3 Електрика. Електротехнiка/621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок/621.382 Електронні пристрої із використанням властивості твердого тіла. Напівпровідникові елементи