| Аннотацiя: |
С помощью метода измерительного наноиндентирования были получены значения твердости и модуля упругости для образцов покрытий алмазоподобного углерода на кремнии и платины на кремнии. Зависимости механических характеристик системы от радиуса пятна контакта были обработаны с использованием различных моделей, и из этих данных были получены значения твердости и модуля упругости материала покрытий без влияния свойств подложки. Модуль упругости покрытий был также определен с помощью метода силовой спектроскопии. |
