Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Дунаев А. В., Пивоваренок С. А., Капинос С. П., Мурин Д. Б.
Влияние температуры на скорость травления и качество поверхности GaAs при обработке в плазме HCl-Ar, HCl-Cl 2, HCl-H 2

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Російська  Обсяг:  C. 50-53 
УДК:  537.525 

Аннотацiя:

Проведено исследование влияния температуры на скорость травления GaAs в смесях HCl/Ar, HCl/H 2, HCl/Cl 2. Найдены эффективные энергии активации процесса травления в смесях HCl/Ar, HCl/H 2, HCl/Cl 2. Значения энергий активации для всех газовых сред характерны для реакций, лимитируемых адсорбционно-десорбционными процессами на поверхности материала. Показано, что оптимальное сочетание скорости травления и шероховатости поверхности достигается в смеси HCl/Ar. В смесях с H 2 скорости травления слишком малы при хорошем качестве поверхности, а в смесях с Cl 2 шероховатость поверхности превышает допустимые значения.

Є складовою частиною документа Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология [Текст]. Т. 57. № 7 / М-во общ. и проф. образования РФ. — Иваново : Иван. хим.-технол. ин-та, 2014.

Теми документа

• УДК/5 Математика та природничi науки/53 Фiзика/537 Електрика. Магнетизм. Електромагнетизм/537.5 Електронні та іонні явища