| Аннотацiя: |
Проведено исследование стационарных параметров и состава плазмы смесей CH 4-Ar переменного состава в условиях тлеющего разряда постоянного тока (p QUOTE =40-200 Па, i=30-70 мА). Получены данные по приведенной напряженности электрического поля, энергетическим распределениям и концентрациям электронов. Проведен анализ кинетики процессов образования и гибели заряженных частиц. |
