Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Дунаев А. В., Пивоваренок С. А., Мурин Д. Б.
Взаимодействие плазмы смесей хлороводород - аргон, - хлор, - водород с арсенидом галлия

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Російська  Обсяг:  С. 44-47 
УДК:  537.525 

Аннотацiя:

Проведено исследование плазмохимического травления GaAs в смесях HCl-Ar, HCl-Cl 2 и HCl-H 2 в условиях тлеющего разряда постоянного тока. Показано, что скорость травления GaAs при разбавлении HCl аргоном и водородом уменьшается быстрее, чем концентрация атомов хлора. В смесях HCl-Cl 2 скорость травления проходит через максимум при содержании хлора порядка 75%. На возрастающем участке кривой скорость травления пропорциональна потоку атомов хлора, а после прохождения максимума лимитирующей стадией становится десорбция продуктов травления под действием ионной бомбардировки.

Є складовою частиною документа Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология [Текст]. Т. 57. № 8 / М-во общ. и проф. образования РФ. — Иваново : Иван. хим.-технол. ин-та, 2014.

Теми документа

• УДК/5 Математика та природничi науки/53 Фiзика/537 Електрика. Магнетизм. Електромагнетизм/537.5 Електронні та іонні явища