Аннотацiя: |
Целью данной работы является изучение влияния эффекта загрузки плазмохимического реактора на кинетику травления полиэтиленовой пленки (ПЭ) и параметров постоянного тока тлеющего разряда в воздухе. Скорость травления увеличивается с ростом тока разряда, линейной скорости потока газа и мало зависит от давления газа при неизменных прочих внешних параметрах. |