| Аннотацiя: |
Одним из перспективных направлений развития автоматизированных систем управления является использование в их составе наносенсоров. В обзоре представлены результаты разработок газовых химических наносенсоров с чувствительными элементами на основе оксида цинка. В соответствии с особенностями построения чувствительных элементов названные устройства разделены на три группы. Группа 1 – наносенсоры, чувствительные элементы которых имеют покрытие только из оксида цинка. Группа 2 – устройства с чувствительными элементами, содержащими покрытие из оксида цинка с нанесением слоя другого материала. Группа 3 – наносенсоры, чувствительные элементы которых имеют покрытие из композитного материала на основе оксида цинка. |
