Аннотацiя: |
В роботі проведено оптичні дослідження плівок GaN легованих кремнієм, вирощених методом газофазної епітаксії із метал-органічних сполук на підкладках сапфіра, орієнтованих по кристалографічній осі с. Для вирощених плівок отримано фізичні параметри для кристалічного GaN. Зафіксовано зсув A1(LO) фонона гратки GaN в спектрах ІЧ відбивання, який пояснено впливом двох чинників: механічних напружень в плівці і підкладці та легуванням плівки кремнієм. |