Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Коновалов В. А., Терпій Д. М.
Структура плівок диборида танталу

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Українська  Обсяг:  С. 100-103 
УДК:  546.471.2.539.23 

Аннотацiя:

Методом нереактивного ВЧ-магнетронного розпилення при різних умовах осадження одержані плівки диборида танталу. За допомогою рентгенівської дифрактометрії, вторинної іонної масспектрометрії та електронної мікроскопії досліджено фазовий склад і структуру плівок. Вивчено вплив температури підкладки та величини позитивного потенціалу зсуву на зміну ступеня текстурованості і складу покрить.

Є складовою частиною документа Фізика і хімія твердого тіла [Текст] = Physics and chemistry of solid state : науковий журнал. Т. 11. № 1 / Прикарпатський нац. ун-т ім. Василя Стефаника, Фізико- хімічний інститут, Асоціація "Вчені Прикарпаття". — Івано- Франківськ : Плай, 2010.

Теми документа

• УДК/5 Математика та природничi науки/54 Хiмiя. Кристалографiя. Мiнералогiя/546 Неорганiчна хiмiя/546.4 Елементи другої групи. Метали другої групи