Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Остафійчук Б. К., Гарпуль О. З., Соловко Я. Т., Пилипів В. М.
Вплив іонної імплантації SI+ на поверхневий шар монокристаличних ЗІГ- плівок

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Українська  Обсяг:  С. 344-348 
УДК:  538.975.539.26.669-17 

Аннотацiя:

Досліджено вплив імплантації іонами Si+ за допомогою 5-10 см і енергіями 100-150 кеВ на структуру поверхневого шару плівок ЗІГ. На основі аналізу рельєфу поверхні та результатів рентгенівської фотоелектронної спектроскопії встановлено особливості змін у приповерхневій ділянці товщиною до 50 А. В дослідженому поверхневому шарі виявлено залізо в станах Fe3+ (основна частина) тва Fe2+ (незначна частина). Технологічних домішок Pb та Pt не зафіксовано. При імплантації Si+ з енергією 150 кеВ збільшився відносний вміст кисню. Розраховані значення середньої нерівності поверхонь плівок (0,6 нм) підтверджують достаню їх гладкість.

Є складовою частиною документа Фізика і хімія твердого тіла [Текст] = Physics and chemistry of solid state : науковий журнал. Т. 11. № 2 / Прикарпатський нац. ун-т ім. Василя Стефаника, Фізико- хімічний інститут, Асоціація "Вчені Прикарпаття". — Івано- Франківськ : Плай, 2010.

Теми документа

• УДК/5 Математика та природничi науки/53 Фiзика/538.9 Фiзика конденсованої матерії (в рiдинному та твердому станi)/538.97 Спеціальна геометрія і взаємодія з частинками та випромінюванням