| Аннотацiя: |
Проведено багатокутові еліпсометрічні виміри у видній області спектра на діалектричних плівках, одержаних на кварцовому склі розпиленням матеріалу електронним пучком. Показано, що виміряна еліпсометрічна функція описується двошаровою системою, яка включає основний шар і перехідний шар на його поверхні, Знайдено показники заломлення та товщини шарів. Внутрішній шар має більший показник заломлення, ніж зовнішній, однаковий для обох досліджених плівок. |
