| Аннотацiя: |
Проведено еліпсометричні дослідження будови приповерхневої зони природних граней росту монокристалів 6Н-SiC. Встановлено, що на поверхні зразків існує плівка, за припущенням природного окису (аморфного кварцу), із проміжним шаром іншого політипу на межі між підкладинкою і плівкою, ймовірно
кубічного карбіду кремнію. Товщина поверхневої плівки змінюється у межах 4 – 10 нм для різних зразків, товщина проміжного шару може становити від 45 – 60 нм до величини порядка довжини світлової хвилі видного діапазону. В області 1,4 – 4,8 еВ визначено показник заломлення основного матеріалу. Встановлено,
що показник поглинання близький до нуля і менше чутливості еліпсометричної методики, тобто приблизно 0,05, за умови врахування поверхневої плівки. Це свідчить про відсутність прямих дозволених переходів у карбіді кремнію аж до 4,8 еВ. Значення показника заломлення близькі до значень показника заломлення кубічного карбіду кремнію. |
