Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Шелюк І. О., Томашик В. М., Стратійчук І. Б., Денисюк Р. О.
Хімічна взаємодія монокристалів GаАs, GаSb, InAs та ІnSb з водними розчинами H2O2 - HBr

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Українська  Обсяг:  С. 411-415 
УДК:  621.794.4:546.681/682’19/86 

Аннотацiя:

Досліджено хімічну взаємодію монокристалів GаАs, GаSb, InAs, InAs (Sn) та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr. Встановлено залежність швидкості їх розчинення від складу травників, перемішування, температури та визначено лімітуючі стадії процесу розчинення. Оптимізовано склади поліруючих травників і режими хіміко-динамічного полірування поверхні вказаних напівпровідникових матеріалів.

Є складовою частиною документа Фізика і хімія твердого тіла [Текст] = Physics and chemistry of solid state : науковий журнал. Т. 12. № 2 / Прикарпатський нац. ун-т ім. Василя Стефаника, Фізико- хімічний інститут, Асоціація "Вчені Прикарпаття". — Івано- Франківськ : Плай, 2011.

Теми документа

• УДК/6 Прикладнi науки. Медицина. Техніка/62 Машинобудування. Технiка в цiлому/621 Загальне машинобудування. Ядерна технiка. Електротехнiка. Машинобудування в цілому/621.7 Технологiя механiчної обробки в цiлому: процеси, iнструменти, машини та обладнання/621.79 З'єднування матеріалів. Обробка та остаточна обробка поверхні. Складування та зберігання. Пакування та пакувальні машини/621.794 Хімічна завершальна обробка та обробка поверхні