| Аннотацiя: |
Досліджено вплив тривалої витримки кремнієвих p-n переходів у вологих парах аміаку з парціальним тиском 12 кПа на характеристики p-n структур як сенсорів парів аміаку та води в навколишній атмосфері.
Проведено чисельні двовимірні розрахунки нерівноважних поверхневих процесів при адсорбції молекул донорного газу. Встановлено, що тривала обробка в парах аміаку суттєво збільшує струм, обумовлений адсорбцією молекул NH3, H2O та C2H5OH. Даний ефект пояснюється формуванням донорних поверхневих
центрів, які частково компенсують акцепторні поверхневі центри в кремнії.
|
