Електронний каталог

  Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа  

Пилипів В. М., Гарпуль О. З., Остафійчук Б., Коцюбинський В. О., Куровець В. В., Бончик О. Ю.
Структурне розупорядкування приповерхневого шару імплантованич іонами кремнію плівок залізо-ітрієвого гранату

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Українська  Обсяг:  С. 48-54 
УДК:  544.546:548.4 
Аннотацiя: В роботі представлені результати досліджень приповерхневих шарів плівок залізо-ітрієвого ґранату, імплантованих іонами кремнію з енергією 90 кеВ та дозами 11013 , 61013 та 21014 см-2. Проведене математичне моделювання процесу імплантації іонів кремнію у плівку ЗІҐ показало, що утворення пар Френкеля та дефектів більш складного типу є рівноймовірним. Теоретично розраховано профіль концентрації радіаційних дефектів, який, в основному, формується дефектами, утвореними внаслідок пружних взаємодій іона-імплантанта з атомами мішені. Експериментально встановлено, що імплантація іонів кремнію у плівки ЗІҐ призводить до утворення в приповерхневому шарі монотонно спадних профілів відносної деформації.

Є складовою частиною документа Фізика і хімія твердого тіла [Текст] = Physics and chemistry of solid state : науковий журнал. Т. 13. № 1 / Прикарпатський нац. ун-т ім. Василя Стефаника, Фізико- хімічний інститут, Асоціація "Вчені Прикарпаття". — Івано- Франківськ : Плай, 2012.

Теми документа

Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'