Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Новосядлій С. Н., Атаманюк Р. Б., Сорохтей Т. Р., Мельник Л. В., Возняк Ю. В.
Технологічні особливості сухої вакуумної літографії для формування субмікронних структур ВІС

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Українська  Обсяг:  С. 273-278 
УДК:  66-982:655.226.2 

Аннотацiя:

Матеріали даної статті визначають сучасні методи сухої літографії в контексті формування суб-і наномікронних структур швидких ВІС .

Є складовою частиною документа Фізика і хімія твердого тіла [Текст] = Physics and chemistry of solid state : науковий журнал. Т. 13. № 1 / Прикарпатський нац. ун-т ім. Василя Стефаника, Фізико- хімічний інститут, Асоціація "Вчені Прикарпаття". — Івано- Франківськ : Плай, 2012.

Теми документа

• УДК/6 Прикладнi науки. Медицина. Техніка/66 Хiмiчна технологія. Хімічна промисловiсть й споріднені галузі