| Аннотацiя: |
В данній роботі на основі використання сучасних методів досліджень в комбінації з методами хімічного селективного травлення вивчалася структура приповерхневого шару кремнію після окислення і іонного легування яка складалась з області полікристалічного кремнію і області, що містить дислокаційні сітки. Проведений порівняльний аналіз властивостей дислокаційних сіток, що виникають при окисленні і легуванні. |
