Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Литовченко В. Г., Мельник В. П., Попов В. Г., Федулов Г. В., Данько В. А., Індутний І. З., Михайловська К. В., Шепелявий П. Є.
Фотолюмінесценція поруватих nc-Si/Siox структур, імплантованих іонами вуглецю

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Українська  Обсяг:  С. 107-111 
УДК:  539.219:535.36:621.315.592:535 

Аннотацiя:

Проведені дослідження впливу імплантації іонів вуглецю на фотолюмінесценцію (ФЛ) поруватих Si/SiOx шарів з колоноподібною структурою, сформованих за допомогою осадження у вакуумі під ковзним кутом (glanse angle deposition) і подальшого високотемпературного відпалу плівок SiOx.

Є складовою частиною документа Фізика і хімія твердого тіла [Текст] = Physics and chemistry of solid state : науковий журнал. Т. 15. № 1 / Прикарпатський нац. ун-т ім. Василя Стефаника, Фізико- хімічний інститут, Асоціація "Вчені Прикарпаття". — Івано- Франківськ : Плай, 2014.

Теми документа

• УДК/5 Математика та природничi науки/53 Фiзика/539 Фізична природа матерії/539.2 Властивості та структура молекулярних систем