| Аннотацiя: |
Досліджено процес хіміко-механічного полірування (ХМП) монокристалів травниками системи HI-H2O - цитратна кислота. Визначено вплив природи в'язкого компоненту на швідкість і якість полірованої поверхні монокристалів. Розроблено режими ХМП для CdTe та твердих розчинів на його основі. |