Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Новосядлий С. П., Марчук С. М., Варварук В. М., Мельник Л. В.
Моделі напівізолюючих шарів арсеніду галію при їх формуванні багатозарядною іонною імплантацією

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Українська  Обсяг:  С. 872-878 
УДК:  621.315.592 

Аннотацiя:

Розроблена технологія багатозарядної імплантації домішок, які дозволяють формувати латеральні та вертикальні ізолюючі матеріали. Проведені експериментальні дослідження по створенню високоомних та термостабільних ізолюючих шарів в іонно-легованих структурах на напівізолюючому GaAs.

Є складовою частиною документа Фізика і хімія твердого тіла [Текст] = Physics and chemistry of solid state : науковий журнал. Т. 15. № 4 / Прикарпатський нац. ун-т ім. Василя Стефаника, Фізико- хімічний інститут, Асоціація "Вчені Прикарпаття". — Івано- Франківськ : Плай, 2014.

Теми документа

• УДК/6 Прикладнi науки. Медицина. Техніка/62 Машинобудування. Технiка в цiлому/621 Загальне машинобудування. Ядерна технiка. Електротехнiка. Машинобудування в цілому/621.3 Електрика. Електротехнiка/621.31 Вироблення, постачання, розподіл та регулювання електричної енергії. Електричнi машини та прилади. Електричні вимірювання. Технічне застосування магнетизму. Технічне застосування електростатики/621.315 Передача електричної енергії. Енергорозподілення та телекомунікаційні лінії. Проарматура. Конструкція, спорудження ліній електропередач/621.315.5 Провідники та напівпровідники залежно від матеріалу виготовлення