Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа

Опис документа

Євтушенко А. І., Биков О. І., Клочков Л. О., Литвин О. С., Ткач В. М., Куцай О. М., Старик С. П., Батурин В. А., Карпенко О. Ю., Душейко М. Г., Лашкарьов Г. В.
Вплив кисню на властивості тонких плівок ZnO:FI, вирощенних методом пошарового росту при магнетронному розпиленні

Вид документа:  Складова частина документа 
Мова:  Українська  Обсяг:  С. 667-674 
УДК:  520.8.054:535.342:53.06:538.915 

Аннотацiя:

Вивчено впливу тиску кисню в камері осадження на структуру, морфологію, оптичні та електричні властивості легованих алюмінієм плівок ZnO, осаджених методом пошарового росту в магнетронному розпиленні на скляних підкладках. Проаналізовано вплив застосування традиційного одноетапного підходу та запропонованого нами методу пошарового росту в магнетронному розпиленні на властивості плівок ZnO, легованих алюмінієм. Встановлено, що зі зменшенням тиску кисню в камері осадження покращується структура, збільшується пропускання в видимій області спектру випромінювання та зменшується питомий опір плівок ZnO:Al.

Є складовою частиною документа Фізика і хімія твердого тіла [Текст] = Physics and chemistry of solid state : науковий журнал. Т. 16. № 4 / Прикарпатський нац. ун-т ім. Василя Стефаника, Фізико- хімічний інститут, Асоціація "Вчені Прикарпаття". — Івано- Франківськ : Плай, 2015.

Теми документа

• УДК/5 Математика та природничi науки/52 Астрономiя. Астрофiзика. Космiчнi дослiдження. Геодезiя/520 Iнструменти, прилади та методи астрономiчних дослiджень/520.8 Методи та засоби спостережень, вимірів та аналізу