| Аннотацiя: |
Алмазоподобные углеродные пленки активно применяются в качестве защитных и износостойких покрытий для широкого спектра объектов. В данной работе приведены результаты измерения твердости алмазоподобных пленок различными методами для широкого диапазона толщин. Показано, что измеренное значение не зависит от толщины пленки, то есть получено без влияния подложки. |
