Замовлення документа
| 004 | | К71 |
Кособуцький, П. С.
Мікро- і наноелектромеханічні системи: базові принципи проектування явищ, матеріалів та елементів [Текст] : навч. посібник / Петро Сидорович Кособуцький, М. В. Лобур, В. І. Каркульовський ; Нац. ун-т "Львівська політехніка". — Львів : Вид-во Львівської політехніки, 2017. — 400 с.
|
| | 004.414.2:004.942:004.02(075.8) |
| ISBN 978-966-941-105-1 | |
|
