Сайт бібліотеки  >  Електронний каталог  >  Опис документа  >  Замовлення документа

Замовлення документа 621.38 Б48          Березин, Г. Н.     Оптические основы контактной фотолитографии [Текст] / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. — М. : Радио и связь, 1982. — 104 с.   621.382.002

Шифр читача   Місце видачі   Науковий відділ