Електронний каталог
Сайт бібліотеки
>
Електронний каталог
>
Опис документа
> Замовлення документа
Замовлення документа
621.38
Б82
Борисенко, А. С.
Технология и оборудования для производства микроэлектронных устройств
[Текст] : Учеб. / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. — М. : Машиностроение, 1983. — 320 с.
621.382.049.77(075.3)
Шифр читача
Місце видачі
Науковий відділ
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'