літографія, литография
Документи:
- Рентгеновская оптика [Текст] : труды ФИАН. Т. 196 / под ред. Н. Г. Басова. — Москва : Наука, 1989. — 182 с. — ISBN 5-02-000019-1.
- The Process of Periodic Structures Fabrication in Photocurable Composite Materials [Текст] / N. D. Vozobova, V. G. Bulgakova, Yu. E. Burunkova, A. I. Moskalenko // Фізика і хімія твердого тіла. — 2012. — Т. 13, № 1. — P. 265-268.
- Аваев, Николай Александрович
Основы микроэлектроники [Текст] : Учеб. пособие / Н. А. Аваев, Ю. Е. Наумов, В. Т. Фролкин. — М. : Радио и связь, 1991. — 287 с.
- Дмитрук, М. Л.
Мікроконтактна модифікація поверхні для створення самовпорядкованих масивів наночастинок [Текст] / М. Л. Дмитрук, С. З. Малинич // Фізика і хімія твердого тіла. — 2012. — Т. 13, № 2. — С. 340-345. — Бібліогр. в кінці ст.
- Технологічні особливості сухої вакуумної літографії для формування субмікронних структур ВІС [Текст] / С. Н. Новосядлій, Р. Б. Атаманюк, Т. Р. Сорохтей та ін. // Фізика і хімія твердого тіла. — 2012. — Т. 13, № 1. — С. 273-278. — Бібліогр в кінці ст.
- Рябцева, Лідія
Гражданська друкарня в Миколаєві [Текст] / Л. Рябцева // Вісник книжкової палати. — 2012. — № 5. — С. 30-33. — Бібліогр. в кінці ст.
|
