плазмохімічне травлення, плазмохимическое травление
Документи:
- Формирование рельефных структур на поверхности монокристаллов синтетического алмаза методом реактивного ионного травления [Текст] / В. С. Бормашов, А. В. Голованов, А. П. Волков и др. // Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология. — 2013. — Т. 56, № 7. — С. 57-59. — Библиогр. в конце ст.
- Влияние температуры на скорость травления и качество поверхности GaAs при обработке в плазме HCl-Ar, HCl-Cl 2, HCl-H 2 [Текст] / А. В. Дунаев, С. А. Пивоваренок, С. П. Капинос, Д. Б. Мурин // Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология. — 2014. — Т. 57, № 7. — C. 50-53. — Библиогр. в конце ст.
- Кадников, Д. В.
Исследование влияния продуктов травления пленки полиэтилена на параметры неравновесной плазмы воздуха [Текст] / Д. В. Кадников, С. А. Смирнов, В. В. Рыбкин // Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология. — 2015. — Т. 58, № 6. — С. 49-52. — Библиогр. в конце ст.
- Панов, И. В.
Исследование влияния добавки полиакрилата натрия на процесс расширения туннелей травленой алюминиевой фольги [Текст] / И. В. Панов, С. П. Шавкунов // Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология. — 2015. — Т. 58, № 6. — С. 78-82. — Библиогр. в конце ст.
- Смирнов, С. А.
Влияние гетерогенных процессов на параметры кислородсодержащей плазмы [Текст] / С. А. Смирнов, В. А. Титов, В. В. Рыбкин // Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология. — 2012. — Т. 55, № 4. — С. 12-19. — Библиогр. в конце ст.
|
